公元七世紀，吐蕃（今西藏）贊普松贊干布迎娶唐文成公主和尼婆羅（今尼泊爾）赤尊公主，並信奉佛教，建寺譯經，是為藏傳佛教前弘期之始；至吐蕃贊普赤松德贊時期，佛教得到了長足發展。公元九世紀中葉，贊普朗達瑪揚本抑佛，禁止佛教流傳，搗毀佛像，驅除僧人，前弘期終止。十世紀後期，佛教通過安多和阿里上下兩路在藏區復興，是為後弘期之始，此間陸續出現了眾多教派，如寧瑪派、噶當派、噶舉派和薩迦派等。十三世紀後期，在元朝扶植下，薩迦派執掌西藏政教大權。明永樂七年（1409年），宗喀巴創建格魯派，其後，在明清兩代中央政府扶持下，達賴和班禪活佛轉世制度確立，至五世達賴時建立了甘丹頗章──西藏地方的政教合一政權。
公元九世紀吐蕃統治敦煌時期，藏傳佛教始在漢地西域出現。吐蕃境內滅法之際，衞藏僧人逃往康區安多一帶，將吐蕃本土佛教傳播至河湟党地區。十一世紀至十三世紀初葉，藏傳佛教噶舉派、薩迦派等隨着漢夏僧人交往而流傳至西夏並形成國師、帝師制度；十三世紀後半葉至十四世紀初葉，藏傳佛教在蒙元王室的扶持下在內地傳播開來。明清兩代，藏傳佛教在蒙古地區廣為流傳，內地信眾逐漸增多，並出現了皇家藏傳寺廟。其分佈的區域包括西藏自治區全境、青海省、四川省西部、甘肅甘南、雲南迪慶和內蒙古自治區。